丽水光刻机-迪盛微电子(图)

晒版机（曝光机）的工作原理及操作步骤

晒版机是用于制作印版的一种接触曝光成像设备。

操作要求：

（1）工作环境温度应在0-40℃，相对湿度要小于80%；工作玻璃应符合GB 4871－1995中一等品的规定。有效工作表面不得有划伤、气泡、霉变等缺陷；工作面的照度均匀度不得小于86%。具体检测方法如下：在无干扰光源的情况下，将光源调整到正常工作的较低位置，把精度不低于±4%的照度计测头置于工作玻璃面上测取版框中心、四角及各边中心的照度值Li，按公式A=[1-(|Li-L| max)/L]×计算晒版机工作面上的照度均匀度，其中：A为照度均匀度，Li为各测点照度值，L为9个测点照度平均值。

直接成像

直接成像（Direct Imaging，缩写为DI），是将计算机上的版面数据直接在印刷机上制版印刷的一种新印刷方式。

迄今为止，较大幅面的DI印刷机是来自Komori的S40D DI印刷机，B1幅面，它使用Creo公司的Square Spot成像技术和来自Agfa公司的印版。MAN Roland公司在DI印刷市场的作用也很重大，他们的DICOweb与以往的轮转胶印技术完全不同，它不使用印版，而是在可多次成像的滚筒上直接成像。

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ldi曝光机焦面下降后会影响曝光能量吗

1、对曝光能量无明显影响；

2、对线路的解析度有很大影响。

3、主要会造成异常有：A、下降后，LDI无法继续曝光出精密的线路，单条变粗，会造成曝光不良；

B、会直接造成产品开短路或者线路变粗或变细（正负片变化相反）

4、通常LDI曝光机生产前，都会量测产品厚度，根据测量数据，调整焦距高低，进行补偿，就是为了改善这个问题。

5、如果你的产品线宽线距都很大，光刻机，焦距轻微变化一点点，并不会造成很大影响，精密线路就会受到很大影响。